参考价格：248000
型号：U-III ST03
品牌：英微米
该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次粒径分布误差：≤±30%浓度示值误差：≤±30%重复相对偏差：≤±10%FS重叠

参考价格：248000
型号：U-III ST02
品牌：英微米
英微米晶圆表面微粒分析仪U-III该产品专为高洁净度制造场景设计，采用革命性激光传感技术与智能采样系统，可精准检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。核心技术创新纳米级检测能力U-III搭载He

参考价格：248000
型号：U-III ST01
品牌：英微米
U-III表面粒子计数器：突破0.1微米检测极限，重新定义半导体洁净度标准。核心技术创新纳米级检测能力U-III搭载HeNe激光传感器，分辨率达0.1微米，支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计（0.1/0.2/0.3/1.0/3.

参考价格：248000
型号：U-III
UK MICRON OPTOELECTRONICS的表面粒子检测器系列通过以下技术实现电子半导体行业表面污染的量化监测和控制：核心技术原理界面颗粒再悬浮技术‌：采用先进界面技术，通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮，