设备简介
WD-HS8是针对半导体工艺生产中晶圆烘烤而设计的一款产品,采用新颖的数字式加热设计,可以精准的控制表面温度;坚固耐腐蚀的铝合金面板,优异的导热性可以满足多种应用场景;数字式显示器可迅速编码准确控制温度;独立的防过热电路设计,确保实验安全。
产品特点
采用高精度微处理器,温度控制更加精确
可同时显示设定温度和实际温度,最高温度可达325℃
外观小巧精致,高度162mm,更适宜通风橱使用
结构简单,可靠性高,元器件均做防腐蚀处理加热部件与元器件分离设计,确保安全
应用场景
太阳能电池;微流控芯片;光刻工艺; 半导体工艺
参数规格
| 项目 | 技术参数 |
| 温度范围 | RT~300℃ |
| 面板尺寸 | 220×220mm |
| 面板材质 | 铝合金 |
| 样品尺寸 | ≤8寸晶圆 |
| 温度均匀性 | ≤±1.5% |
| 温度稳定性 | ±0.2℃ |
| 控温精度 | ±0.2℃ |
| 烘烤方式 | 接触式 |
| 加热功率 | 800W |
| 设备尺寸 | 370(W)*260(D)*162(H)mm |
| 净重 | 10Kg |