WD-SDCT100 小型高精度狭缝涂布机是一款高精度垂直型狭缝涂布设备,具有制备速度快、成膜好均一性好等特点,特别适合用于制备大面积钙钛矿电池、燃料电池、OLED等器件制备。
产品主要特点:
| 涂头加工精度 | 模唇流道表面抛光至Ra 20nm,涂头直线度不大于2um |
| 涂布尺寸 | 最大宽度100mm,可放两片10*10cm 基片 |
| 涂布速度 | 0.01-30m/min,可自由选择涂布速度 |
| 供液精度 | 高精度0.1ul/s |
| 固含与粘度 | 1-50%、1-100CPS |
| 薄膜厚度 | 湿膜厚度5-100um,干膜厚度100-3000nm |
| 控制系统 | PLC 触屏自动控制 |
| 尺寸 | 约850*400*550mm |
设备构成:
| 名称 | 单位 | 数量 | 规格 | 备注 | |
| 狭缝涂头 | 只 | 1 | 涂头宽度:150mm 最大涂布宽度:100mm 涂头直线度不大于2um,模唇流道表面抛光至Ra 20nm | ||
| 涂布控制系统 | 定位系统 | 套 | 1 | 垂直伺服控制:定位精度±10um 水平运动速度:0.01-30m/min,可自由选择涂布速度 | |
| 高精度运动平台 | 套 | / | A.大理石台尺寸:约200*300mm,真空吸附,表面粗糙度±10um | 可放两片 10*10cm 基片 | |
| B.程序控温加热平台尺寸: 约200*300mm,真空吸附,表面粗糙度±25um 最高温度150℃,推荐最高使用120℃ | |||||
| PLC控制 | 套 | 1 | PLC 触摸屏、自动控制、彩色显示 | ||
| 供液系统 | 套 | 1 | 高精度供液泵0.1ul/s | ||
| 设计安装调试及附属配件 | 套 | 1 | 定制 | ||