特点:
1.7寸触屏+进口电机操作方便,质量更稳定
2.吸盘平整度精细加工平磨,均匀性更好,可达1%以内
3.电气元器件独立集成在机身侧面空间,有效避免因腔体漏液渗到设备内部导致短路风险
4.配置光胶过滤器和废液桶,清洗保养更方便,及时清理避免堵胶带来飞片风险
5.有真空负压数值显示和低真空报警装置,有效提醒因负压不足带来飞片风险
6.提供工艺支持,避免购买不适宜产品带来损失风险
参数:
| 型号 | WD-TSC- 280T |
| 适用晶元尺寸范围 | Up to Ф200mm |
| 腔体直径 | 280mm |
| 转速 | 20~10000RPM |
| 转速精度 | ±1RPM |
| 旋转加速度 | ≤10000RPM/S |
| 最大旋涂时间 | 1-999.9S |
| 控制方式 | 7寸触屏+PLC |
| 滴胶方式 | 手动 |
| 电机功率 | 400W |
| 控制程序 | 50组20 段,每一段数均可设定加速度及时间控制 |