超高纯氢气纯化装置：

原料气经过预处理达到99.999%纯度的气体，经过钯管或者金属化学吸附反应等，使得氢气的纯度达到99.9999%以上。

技术特点
采用新技术脱氧，效果可达含氧量≤0.2ppm。

采用新型脱氮技术，可以使产品气含氮量≤0.4ppm。
采用新技术脱水，产品氢气含湿量≤-76℃露点。
采用高效烧结过滤器，除尘后分子粒度≤0.1μm。
纯化工作气体压力范围0.2-5.0MPa，并能适用于压力波动气体。

安装方便，结构紧凑，维修简单。

PLC+触摸屏（或工控机）全自动无人值守运行。