FSEM A200 喷金仪
FSEM系列喷金仪适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统，从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时，紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。FSEM系列喷金仪为全闭环真空设计，配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态，保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵，快速获得＜1Pa的真空环境，高精度的溅射电源采用恒流控制，镀膜更纯，膜厚更准，结果重复性更好。
产品特点
设计美观，操作简单，界面友好、一键镀膜
可直接放置12个标准钉型样品台，无需工作人员介入，节省人力和时间
采用ARM架构，全自动控制，控制精度高，操作简单
低电压，稳定真空环境，可溅射多种常用金属金、铂、钯、银等
溅射颗粒可达纳米级别，溅射颗粒＜5nm制备薄膜致密，适合高分辨SEM使用
采用磁控溅射技术，利用平面磁场减少温度的变化，适用于温度敏感样品
配有多个传感器实时监控运行状态，保证仪器使用安全
长期运行，稳定可靠，无需特殊维护
具备开关机数据存储记忆，修复长期应用偏差
仪器可全自动控制，更方便用户实现各种自动化控制操作
软件遵循GMP规范，方便实现用户管理，使用记录等功能
技术参数
设备型号 | FSEM A200 |
溅射类型 | 低压磁控平面溅射 |
靶材尺寸 | 直径50mm，**靶材利用率 |
控制模式 | 5寸触摸屏全自动程序控制 |
真空系统 | 机械旋叶泵，极限真空＜1Pa真空抽速1L/s |
真空测量 | 全量程皮拉尼数字真空计 |
工作真空 | 2-8Pa，真空精度可达0.1Pa |
样品台 | 可升降，可放置12个标准钉型台，直径可达65mm |
溅射电源 | 恒流磁控DC溅射电源300-600V，Max50mA控制精度可达1mA |
溅射时间 | ≤600s，控制精度1s |
真空腔室 | φ130×100mm |
供电要求 | 200-240VAC 50Hz，功率500W |
外形尺寸 | 420×260×280mm |
配置清单
序号 | 名称 | 规格 | 数量 |
1. | 喷金仪主机 | FSEM A200 | 1台 |
2. | 铂金靶材 | 50×0.1mm | 1个 |
3. | 真空管路 | KF16-1.2m | 1根 |
4. | 机械真空泵 | VRD-4 | 1台 |
5. | 合格证、保修卡、说明书、装箱单 | / | 1套 |