FSEM AA200 双靶位喷金仪

FSEM系列喷金仪适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统，从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时，紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。FSEM系列喷金仪为全闭环真空设计，配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态，保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵，快速获得＜1Pa的真空环境，高精度的溅射电源采用恒流控制，镀膜更纯，膜厚更准，结果重复性更好。

产品特点

• 设计美观，操作简单，界面友好、一键镀膜

• 双靶位设计，无需更换靶材，可实现叠层工艺

• 采用抽大样品仓，可进行快速制样，样品台可预倾斜及旋转，旋转可调

• 可直接放置16个标准钉型样品台，无需工作人员介入，节省人力和时间

• 采用ARM架构，全自动控制，控制精度高，操作简单

• 低电压，稳定真空环境，可溅射多种常用金属金、铂、钯、银等

• 溅射颗粒可达纳米级别，溅射颗粒＜5nm制备薄膜致密，适合高分辨SEM使用

• 采用磁控溅射技术，利用平面磁场减少温度的变化，适用于温度敏感样品

• 配有多个传感器实时监控运行状态，保证仪器使用安全

• 长期运行，稳定可靠，无需特殊维护

• 具备开关机数据存储记忆，修复长期应用偏差

• 仪器可全自动控制，更方便用户实现各种自动化控制操作

• 软件遵循GMP规范，方便实现用户管理，使用记录等功能

技术参数

配置清单