特征：

1. 支持12英寸硅片旋涂（基板尺寸大小需联系客服）

2. 最高转速可达6000转/分钟。

3. 加速度10-1000RPM/S连续可调

4. 具有蓝牙通讯功能

5. 支持标准485modbus通讯

6. 免费PC控制软件。

参数：
1. 基片尺寸：200-300mm（8英寸至12英寸）

2. 转速范围：10-6000RPM

3. 加速范围：10-1000RPM/S，可调

4. 电机转速稳定性：±1RPM

5. 旋涂均匀度：±1%

6. 人机界面：8英寸触摸屏

7. 通讯接口：USB（标配）/RS485（可选）/蓝牙（标配）

8. 转身：支持前进、后退

9. 手写笔：Stylus BAMBOO电阻笔（标配）

10. 真空泵：SC-550V

11. 设置数据：无限组数据，每组15个速度（标准）或无限制速度（可选）

12. 每周期秒数：0-10000s

13. 存储数据：无限数据

14. 数据保护：默认带掉电保护

15. 工作电压（旋涂机）：AC100-250V，单相，50/60Hz

16. 工作电压（泵）：AC220V（标准） AC110V（可选）

17. 抽速：≥60L/MIN

18. 最大真空度：-85KPA

19. 声级：≤55db

20. 旋涂机功率：2KW

21. 水泵功率：350W

22. 尺寸（旋涂机）：550mm(W)X550mm(D)X350mm(H)

23. 重量（旋涂机）：50KG

24. 重量（泵）：9KG

25. 相对湿度：<85%

26. 环境温度：0-40℃

27. 保修期：1年