高精度膜厚仪|薄膜厚度测量仪|光刻胶厚度测厚仪 

常见应用

产品型号 A3-SR-100

产品尺寸 W270*D217*（H90+H140）测试支架（配手动150X150毫米测量平台和硅片托盘）

测试方式 可见光,反射

波长范围 380-1050纳米

光源 钨卤素灯(寿命10000小时)

光路和传感器 光纤式(FILBER )+进口光谱仪

入射角 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE)

参考光样品 硅片

光斑大小 LIGHT SPOT About 1 mm（标配，可以根据用户要求配置）

样品大小 SAMPLE SIZE 150mm,配150X150毫米行程的工作台和6英寸硅片托盘

膜厚测量性能指标（THICKNESS SPECIFICATION）：

产品型号 A3-SR-100

厚度测量 1 Thickness 15 nm - 100 um

折射率 1（厚度要求）N 100nm and up

准确性 2 Accuracy 2 nm 或0. 5%

精度 3 precision 0.1 nm

1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能

2 使用硅片上的二氧化硅测量，实际上材料和待测结构也会影响性能

3 使用硅片上的二氧化硅（500纳米）测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.