产品特点 :
1、升降系统采用伺服电机、高减速比行星减速机和精密线性模组驱动,可以实现超低速运行和大范围的无极调速,此系统具有很高的平稳性、可靠性;电机声音及振动极小、转速稳定且可监控。
2、加热系统采用欧陆表和高精度直流电源(精度为±1‰)控温,控温精度最高可达±0.1℃;加热元件和保温体系有金属和石墨两种选择,适合不同需求的晶体生长环境。
3、本系列设备具有断水、漏气、限位等报警及相应处理,使用安全,不须人实时监控,可长时间连续使用。
4、本系列设备可根据用户需求设计炉膛大小和内部分布尺寸,并可进行高、中、低档的灵活配置、即可采用触摸屏全自动控制也可采用全手动和控温表程序控温生长;本设备还可配置独立的水冷循环系统,适合学校和研究机构使用。
主要用途 :
晶体生长,可在真空、常压、高压、保护性气氛状态下用于非金属、金属、合金等物质的晶体生长。
产品技术参数 :
升降速度 | 1-200mm/天;5-1000mm/天;50-10000mm/天 | 规格尺寸 | 2英寸、3英寸、4英寸、非标 |
最高温度 | 1300℃、1700℃、1900℃、2200℃ | 控温精度 | ±2℃、±1℃、±0.1℃ |
压升率 | 0.33Pa/h、0.67Pa/h、1.3Pa/h、2Pa/h | 压力 | |
极限真空 | 6.7×10-3Pa 1×10-3Pa 5×10-4Pa 2×10-4Pa |