真空高低温探针台HCP-1W技术参数：

样品台尺寸：150mm*150mm（6in.）；

探针数量：≤4；

移动精度：0.01mm；

探针XYZ行程：100mm*100mm*10mm；

样品台旋转角度：360°，精度±1；

样品台侧倾角度：±8°，精度±1；

显微镜放大倍数：15x~100x；

真空高低温探针台HCP-1W产品特点：

产品功能：晶圆探针台在常温环境下用于晶片、晶圆、芯片等多种器件的精密电测量；

使用范围：帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

应用领域：提供材料/器件的IV/CV特性测试，LD/LED/PD的光强/波长测试，射频特性器件失效分析，芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案；

定制服务：定制样品台和测量方式；

自动控温：PID自整定连续多点控温。

真空高低温探针台应用：

提供材料/器件的IV/CV特性测试；

LD/LED/PD的光强/波长测试；

射频特性器件失效分析；

芯片内部线路/电极/PAD测试：