精密型组合式探针台
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型号：TLRH
品牌：PLCTS
产地：江苏南京
交货期：3-4周
自动化度：手动
产品优势
模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；
探针台整体位移精度达3um，样品台四维精密调节；
兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试；
兼容高倍率电子显微镜/体视显微镜，可360°旋转及微调升降；
漏电精度可达10pA/100fA/10fA（屏蔽箱内）；
探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；
满足1um以上电极/PAD使用；
加宽探针架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；
搭配显微镜二维精密调节功能，且可选配多种位移行程及驱动方式。
产品介绍
谱量根据客户实际应用需求，推出该款结构小巧，功能实用，性价比高的简易模块化探针台，该探针台系统包括显微成像模块、四维调整载物台、真空吸附系统、探针座、隔振平台等。 多用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、侧料电阻率测试以及搭建材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统等。
技术参数
样品台位移行程 XY110mm，Z轴10mm，360°粗调，±5°精调 | 样品台位移精度 3um |
样品台背电极测试功能 可引出背电极 | 真空吸附 进口无油真空泵，7L/min |
样品固定方式 环形真空吸附 | 探针座行程 XYZ均13mm |
探针座位移精度 3um（可选配升级1um，电动） | 漏电精度 100fA(三同轴线缆) |
探针座安装方式 可调磁力吸附（可升级真空吸附） | 探针座接口形式 三同轴接口 |
显微成像方式 双目体视显微镜（可升级金相显微镜） | 显微镜放大倍数 ~270倍（可选配升级更高倍数） |
图像传感器 2000W高清，支持PC端通讯传输 | 中心距离 140mm，升降范围270mm，总高度350mm |
显微镜位移行程 XY行程25mm/50mm，分辨率3um | 显示器 22寸高清显示器，HDMI高清接口 |
产品发布日期：2023.06.25
南京谱量光电科技有限公司