RTP快速退火炉
品牌：嘉仪通
产品别名：半导体快速退火炉
产地类别：国产干燥设备
RTP快速退火炉采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸样品）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到好的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起重要作用。
RTP快速退火炉产品技术参数
| 型号 | RTP-3-01系列 |
| 最高温度 | 1200℃ |
| 最大升温速率 | 50℃/s |
| 温度均匀性 | ≦1%设定温度 |
| 温度控制 | 选用工业级温控器，控温精度±0.1℃ |
| 温度传感器 | 标准K型热电偶 |
| 最大降温速率 | 1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷却） |
| 最大样品尺寸 | W20 x L20 x T2 (mm) |
| 主机尺寸 | W420X L320X H220 (mm) |
| 主机重量 | 20.5kg |
产品发布日期：2024.07.05
武汉嘉仪通科技有限公司