常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空系统三部分组成。该系统可以满足绝大部分气氛和真空环境下的小样品试验。每个部分都可以单独匹配成不同部件以满足不同的实验条件，如流量计可以选择浮子流量计或质量流量计，单通道或者多通道，管式炉可以选择1200℃/1500℃/1700℃单温区或者多温区炉子。

主要参数：